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半原位 XPS 樣品轉移裝置的研制
發布時間:2016-03-02  |  【打印】 【關閉

      光電子能譜儀常規的進樣方式是先將樣品制備在標準樣品托上,然后轉移至儀器的進樣室進行預抽真空,這一過程中樣品都是暴露在大氣環境下的,對于一些表面比較敏感(如易氧化、易潮解)或者要求比較苛刻的特殊樣品(如 UPS 樣品)的測試結果影響很大。因此針對所內一些課題組特殊的科研需求,如鋰電池的研究,要求樣品不能暴露大氣,我們自主設計研制了一種特殊結構的樣品托,外部配備帶有真空氣路的樣品罩保護,通過外接真空泵使樣品罩腔室保持在真空狀態。該裝置可以完全避免樣品從制備完成后到進入能譜儀器的過程中暴露外部環境,從而實現半原位轉移的 XPS 測試,保證科研數據測試的有效性和準確性。

 

     詳情見http://www.cfdxbyy.com/Downing/201632163324636.pdf

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